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      超凈工作臺的檢定方法

      超凈工作臺的檢定方法
       
      1.泄漏檢定方法
       
      使用多分散DOP氣溶膠(冷煙)發生器向高效空氣過濾器上游側發DOP氣溶膠(冷煙),同時用檢漏裝置的采樣器在下游側距高效空氣過濾器出口約2.5cm處進行掃描巡檢。采樣為47.2×10-5m2/s[28.3L/min],巡檢速度≤5cm/s。當下游側濃度與上游側濃度的比大于0.01%時,則認為有明顯泄漏,應進行堵漏。
       
      2.操作區潔凈度檢定方法
       
      盡量采用大流量(47.2×10-5m2/s[28.3L/min])塵埃粒子計數器,也可以采用小流量塵埃粒子計數器,但采樣量不得小于1L。當操作區氣溶膠濃度達到穩定條件,在距主過濾器或整流格柵出口250mm的平行斷面的中心處(垂直層流超凈工作臺面250mm的中心處)連續測試5次,求其平均值。潔凈度應符合1節(2)要求。
       
      3.風速檢定方法
       
      采用便攜式熱球電風速計或便攜式熱敏電阻恒溫風速計進行測試。在主過濾器或擴散板下游10cm處的平面的面積分成不得少于十二等分的面積,各面積中心點即為風速測點。各測點間距離不應大于25cm。由各測點風速值計算出截面風算術平均值。風速和風速均勻性應符合1

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